拍攝條件:
相機:HAMAMATSU InGaAs Camera C14041-10U
曝光時間:20ms
▪ 圖中十字形部分為顯微鏡下可見物。
▪ 其十字形周圍有四個白色圓點,此白色物體主要在更下層的位置,因此在顯微鏡下看不見。
▪ 若在InGaAs相機的拍攝下,Silicon材質形同透明,因此可拍攝到更下一層面的白點位置。
▪ 用以完成對位檢測。